GB／T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置

ICS 01.040.29 CCS K 04 中华人民共和国国家标准 GB/T 2900.104—2021/IEC 60050-523:2018 电 工 术 语 微 机 电 装 置 Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices (IEC 60050-523:2018, International electrotechnical vocabulary— Part 523: Micro-electromechanical devices, IDT) 2021-10-11 发布 2022-05-01 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 （图片为空白，未识别到文字） GB/T 2900.104—2021/IEC 60050-523:2018 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。 本文件是GB/T 2900《电工术语》的第104部分。GB/T 2900已经发布了100多个部分。 本文件等同采用IEC 60050-523:2018《国际电工词汇 第523部分：微机电装置》。 本文件做了下列最小限度的编辑性修改： ——修改了标准名称； ——增加了参考文献。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国电工术语标准化技术委员会（SAC/TC 232）提出并归口。 本文件起草单位：中机生产力促进中心、芜湖中集瑞江汽车有限公司、广东瑞克斯智能科技有限公司、北京大学、无锡市标准化研究中心、东莞市吉华井岗电机股份有限公司、深圳市大亮照明工程有限公司、福州华虹智能科技股份有限公司、广东万江配电有限公司、浙江博莱特机械有限公司。 本文件主要起草人：顾英、张苹、李桂芳、李瑜、范诚诚、申智超、倪寿华、李滨、王本雄、潘秀安、姜圆、谢学贵。 1 GB/T 2900.104—2021/IEC 60050-523:2018 引 言 GB/T 2900 电工术语系列国家标准对应 IEC 60050 国际电工词汇系列国际标准。根据 IEC 对电工领域的分部，将电工术语系列标准分为 9 类：1)基本概念；2)电工材料；3)仪器仪表；4)电工设备；5)电子设备；6)发电、输电和配电；7)电信技术；8)特殊应用；9)标准化。 本文件等同采用 IEC 60050-523:2018《国际电工词汇 第 523 部分：微机电装置》。归于第 5 部分电子设备，为微机电装置方面通用、基础标准，为本领域技术标准制修订、技术交流提供依据。 GB/T 2900 电工术语系列国家标准第 5 部分“电子设备”已发布标准包括： ——GB/T 2900.33—2004 电工术语 电力电子技术(IEC 60050-551:1998, IEC 60050-551-20:2001, IDT)； ——GB/T 2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC 60050-521:2002, IDT)； ——GB/T 4210—2015 电工术语 电子设备用机电元件(IEC 60050-581:2008, IDT)。 GB/T 2900.104—2021/IEC 60050-523:2018 # 电工术语 微机电装置 ## 1 范围 本文件规定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、集成装配技术、测量技术和应用相关术语。 本文件适用于微机电技术领域。 ## 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 ## 3 术语和定义 ### 3.1 通用术语 #### 523-01-01 **微机电装置 micro-electromechanical device** **微机电系统** 由微电子器件、微执行器、微传感器、微能源、机械构件和/或电路的微型装置。 注：微电子器件指半导体器件和集成电路；机械构件，如微齿轮、微弹簧、微连杆、微夹具、微轴承、微导轨、微密封圈、微钩爪、微开关等；微能源如微型电池等；微传感器如执行器有机械、电力、热、磁、光等物理量或化学量等。 #### 523-01-02 **微系统技术 micro system technology; MST** 利用微机械加工技术制作、微电子学和机械集成及其器件的技术。 注：MST来源于德语。 #### 523-01-03 **微机械 micromachine** 小型化装置，其部件尺寸为几毫米或更小。 注：包括各种微器件，如采用微机械技术的传感器。 ### 3.2 科学与工程 #### 523-02-01 **尺度效应 scale effect** 由于一个或多个尺寸的变化而导致其性能和特性发生改变的现象。 注：此现象与器件的尺寸有关，例如当尺寸减小至微米范围时，与尺寸相关的表面力（如表面张力、静电力、摩擦力等）将取代体积力（如惯性力、电磁力等）成为主导力。例如，随着微物体尺寸的减小，其惯性力和电磁力等体积力，而静电力等表面力成为主要作用力。