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中华人民共和国国家标准
GB/T46178-2025
电子级四（二甲氨基）钛
Electronic grade tetrakis(dimethylamide）titanium
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、苏州源展材料科技有限公司、安微亚格盛电子新材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、安徽博泰电子材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电（乌兰察 布）有限公司、南大光电（淄博）有限公司.
本文件主要起草人：陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、陆平、史泽远、孙明璐、孙鹏、陈鹏宇、宣宗亮、张婷、张健、高周、高朋、鲁钟、郭威、赵俊莎、吴怡然、魏良杰、毛国玉、娄夏冰、王小亮、汪海燕、何晓晨、华激雅. 刘立伟、张汝志、孙丽丽、曹益宁、张宝师、马得森、王博文、彭元兵、刘能巧、孟庆典、孙建、李雪、姚梦、
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电子级四（二甲氨基）钛
1范围
本文件规定了半导体行业用电子级四（二甲氨基）钛的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相应的检测方法.
本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四（二甲氨基）钛.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4技术要求
电子级四（二甲氨基）钛应符合表1的规定.
表1集成电路用电子级四（二甲氨基）钛技术指标要求
项日 技术指标四（二甲氨基）有机度（Assay）（Ti（NC:H））/% >99 5铝(A1)含量/(μg/kg) <1元素杂质含量 梯(Sb)含量/(μg/kg) ≤1
